Desenvolvimento da tecnologia CVD
发布时间:2016-11-23
China a partir do início dos anos 1970 começou a estudar tecnologia de revestimento de CVD, porque a tecnologia dedicada unidades de investigação nacional forte não é muito. Meados dos anos oitenta, o desenvolvimento de DCV tecnologia de revestimento de ferramentas de um nível prático, o nível de tecnologia e nível internacional foi considerável, mas na próxima década o desenvolvimento é relativamente lento (semelhante a um status de pesquisa no exterior), dos anos noventa pesquisa e estágio de desenvolvimento, a China começou MT-CVD tecnologia, pesquisa e desenvolvimento de processos e equipamentos MT-CVD é esperado para ser substancialmente concluída no ano de 2001, de acordo com os objetivos do estudo, tecnologia e equipamentos para atingir o nível avançado internacional; estudo do início tecnologia PCVD no início dos anos noventa, a tecnologia PCVD é usado principalmente para revestimentos de moldes, ferramentas atualmente usadas no campo é ainda muito limitada de corte. No geral, o nível de nível de desenvolvimento global do fosso tecnológico nacional e internacional não é CVD, tecnologia MT-CVD a ser desenvolvido, o nível geral de nosso país no campo da ferramenta de revestimento CVD será substancialmente para manter o ritmo com o nível avançado internacional.